Знаймо

Додати знання

приховати рекламу

Цей текст може містити помилки.

Електронна літографія



Електронна літографія або електронно-променева літографія - метод нано літографії з використанням електронного пучка. Електронний пучок сканує поверхню електронного резіста, повторюючи шаблон, закладений в керуючий комп'ютер, і дозволяючи досягати дозволу 1 нм завдяки більш короткій довжині хвилі електронів в порівнянні зі світлом. [1] Електронна літографія використовується для створення масок для фотолітографії, виробництві штучних компонентів, де потрібно нанометровій дозвіл, в промисловості та наукової діяльності.


Системи для електронної літографії

Системи електронної літографії для комерційного застосування дуже дорогі (> $ 4 млн.). Для наукових досліджень зазвичай використовують електронний мікроскоп, перероблений в систему електронної літографії за допомогою відносно дешевих аксесуарів (<$ 100 тис.). Такі перероблені системи створюють ширину лінії ~ 20 нм з 1990-х років. Між тим, спеціалізоване обладнання дозволять отримувати дозвіл менше 10 нм (аж до 1 нм).

Системи електронно-променевої літографії можна класифікувати за формою променя і відповідно до стратегії відхилення променя. Старі системи використовували гаусові пучки, і сканування вироблялося растровим методом. Більш нові системи використовують як гаусові пучки, так і сформовану форму променя, які можуть бути відхилені в різні положення в полі запису (це також називається векторним скануванням).


Примітки

  1. McCord MA 2 / / SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication - www.cnf.cornell.edu / cnf_spietoc.html - 2000.

Цей текст може містити помилки.

Схожі роботи | скачати

Схожі роботи:
Літографія
Електронна бібліотека
Електронна демократія
Електронна спектроскопія
Електронна таблиця
Електронна схема
Електронна іонізація
Електронна густина
Електронна поляризованість
© Усі права захищені
написати до нас
Рейтинг@Mail.ru